Laseranlage

Hochauflösende 3D-Mikroproduktion

19.12.2006 | Redakteur: Dorothee Quitter

Mit einer eigens am Laser Zentrum Hannover entwickelten Anlage für die flexible und hochauflösende 3D-Mikroproduktion ist es möglich, beliebige 3D-Mikrostrukturen in einem Schritt

Mit einer eigens am Laser Zentrum Hannover entwickelten Anlage für die flexible und hochauflösende 3D-Mikroproduktion ist es möglich, beliebige 3D-Mikrostrukturen in einem Schritt direkt vom CAD-Modell aufzubauen. Besonderer Vorteil der entwickelten Prozesstechnik ist, dass eine Montage der Einzelkomponenten nicht erforderlich ist: Die gesamte Baugruppe mit frei bewegenden Teilen wird in einem Schritt hergestellt. Die neue Prozesstechnik nutzt die Technologie der bereits bestehenden Stereolithographie.

Hier werden flüssige Polymere, so genannte Photoresiste, mit Laserstrahlung ausgehärtet. Mit den derzeit am LZH eingesetzten Photoresisten ist eine Auflösung von ca. 5-10 µm vertikal und 3-5 µm lateral möglich. Die Fertigung kompletter mikrotechnischer Baugruppen auf dem Gebiet Mikrofluidik oder Mikrodosiertechnik werden in weiterführenden Arbeiten mit dieser Anlage angestrebt.

Laser Zentrum Hannover (LZH), Tel. (0511) 278815

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