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Fertigungsmesstechnik Hochauflösendes System misst Rauheit und Kontur

| Redakteur: Udo Schnell

Große Messbereiche und eine hohe Messgenauigkeit verbindet das Messsystem Hommel-Nanoscan. Wie der Hersteller mitteilt, kann das Gerät Rauheiten und Konturen in einem Zug mit einer Tastspitze messen. Basis des digitalen Messsystems ist ein Laserinterferometer, das eine präzise Maßverkörperung abtastet. Im Vorschubapparat wird damit ein Messhub von 24 mm mit einer Auflösung von 0,6 nm erreicht.

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Optional biete ein doppellanger Tastarm einen Messhub von 48 mm mit einer Auflösung von 1,2 nm. Die Horizontal- und Vertikalachsen ereichen eine Auflösung von 0,1 µm über ihre gesamte Länge, die in der Horizontalachse beispielsweise 200 mm beträgt. Die Präzision des interferometrischen Messprinzips sorge auch für eine hohe Linearität des Messsystems, heißt es weiter.

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