Tracking-Interferometer reduziert Stillstandszeiten

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Eine Kugel mit Formabweichungen von 50 nm dient als optische Referenz für das Interferometer. Die mechanischen Bild: Konecranes
Eine Kugel mit Formabweichungen von 50 nm dient als optische Referenz für das Interferometer. Die mechanischen Ungenauigkeiten der Dreh- und der Schwenk- achse werden dadurch kompensiert.
Eine Kugel mit Formabweichungen von 50 nm dient als optische Referenz für das Interferometer. Die mechanischen