Vitronic Inline-Spektrometertechnik misst Reflexion und Farbe von Wafern

Redakteur: Volker Unruh

Tec5 und Vitronic haben ein Verfahren zur Schichtdickenmessung entwickelt: Die Inline-Spektrometertechnik misst die Reflexion und Farbe von Wafern, erfasst die physikalischen Eigenschaften der Antireflexbeschichtung und berechnet die Schichtdicke und die potenzielle Effizienz des Wafers.

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Die Testergebnisse jedes Wafers werden „live“ visualisiert. Angezeigt werden die physikalischen Werte des getesteten Wafers, die Farbwerte und die daraus abgeleitete Schichtdicke, so dass Wafer auch nach ihren Farbeigenschaften sortiert werden können.

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