First Sensor Technology Robuster Drucksensorchip

Die Robustheit der Sensorchips der piezoresistiven Drucksensoren wurde dank neuer Techniken deutlich erhöht, teilt First Sensor Technology mit.

Anbieter zum Thema

Gutekunst Federn

Pfeiffer Vacuum GmbH

Paessler AG

First Sensor AG

Ein elektrisches Schild schirmt die piezoresistiven Widerstände von äußeren elektrischen Feldern und Ladungen ab und erhöhe damit die elektrische Stabilität. Durch den Einsatz eines speziellen Ätzverfahrens konnte die beim anisotropen Herstellungsverfahren der Membranen übliche Berstfestigkeit um den Faktor 5 erhöht werden, heißt es.

Die Star-E-Technik mit weiterentwickeltem Design und neuen Materialien verbessere die Langzeitstabilität. Die Sensorchips sind entsprechend den Anwendungsanforderungen mit und ohne Glasrückplatte mit einer Dicke von 0,5 bis 2 mm erhältlich.

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