Berührungslose Ebenheitsmessung von größeren Präzisionsflächen

Anbieter zum Thema

Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG

MÖLLER-WEDEL OPTICAL GmbH

StoCretec GmbH

Lamtech Lasermeßtechnik GmbH

Bei vollflächigen Bauteilen, deren kürzere Seite schmaler als das Messfeld des Interferometers ist, kann mit einer einzelnen motorisch angetriebenen Linearachse gemessen werden. Ist die schmale Seite länger als das Messfeld des Interferometers, wird mit einem Kreuztisch gemessen.

Bei großen, ringförmigen Teilen kann mit einem Drehtisch gemessen werden

Bei ringförmigen Teilen mit einer Ringbreite kleiner als das Messfeld kann mit einem Drehtisch gemessen werden. Es werden jeweils Ringsegmente gemessen, die nach Messung aller Segmente wieder stetig zum Gesamtring zusammengefügt werden. Beispiele für große ringförmige Flächen mit einer Ebenheit im Mikrometerbereich sind Hydraulikkomponenten, beispielsweise Ventilplatten, und keramische Gleitringe, die bis zu einem Durchmesser von 620 mm gefertigt werden.

Bild 4 zeigt einen motorgetriebenen Drehtisch bei der Messung eines SiSiC-Gleitrings mit einem Durchmesser von 610 mm. Der Ring wurde in 24 Segmenten bei einer Messzeit von weniger als 90 s gemessen. Bild 4 rechts zeigt das Ergebnis der Messung. Die Ebenheit dieses Rings beträgt 5,88 μm mit einer für das Läppen typischen Zweipunktwelligkeit. Ein Ring mit 215 mm Außendurchmesser wird in acht Segmenten gemessen. Dabei wird eine Gesamtzeit von 30 s für die Messung bis zur Ausgabe der Ebenheit benötigt.

* Dr. Bernd Packroß ist Geschäftsführer der Lamtech Lasermesstechnik GmbH in Stuttgart

(ID:42429237)