AHP Merkle Blockzylinder mit Verdrehsicherung

Der hydraulische Blockzylinder BVZ 250 von AHP Merkle ist Bestandteil einer Lithographie-Anlage, mit der Gitterstrukturen im Sub-10-nm-Bereich in Polymerschichten gedruckt werden. Die Anlage wurde an der TU München als Prototyp hergestellt. Die verdrehsichere Führung des Hydraulikzylinders verhindert, dass während des Druckvorgangs Momente auf die Stempelstrukturen wirken können.

Aufgrund der nanoskopischen Abmessungen sind die Stempelstrukturen extrem bruchempfindlich. Die integrierte Verdrehsicherung wurde zur Führung der Kolbenstange konzipiert. Trotz Integration blieben die Außenmaße des Blockzylinders erhalten. Zu den Kernparametern des Druckprozesses gehört die Bewegungsgeschwindigkeit des Kolbens.

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