Mikroelektromechanische Systeme
Was MEMS-Sensoren der nächsten Generation leisten können

Von Thomas Joos 7 min Lesedauer

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MEMS-Sensoren ermöglichen im Industrial IoT präzise Messungen, sie optimieren Prozesse und unterstützen die vorausschauende Wartung. Neue Entwicklungen erweitern ihre Einsatzmöglichkeiten und verbessern ihre Leistungsfähigkeit. Wir geben einen Überblick zum aktuellen Stand.

Neue Entwicklungen bei den MEMS-Sensoren erweitern ihre Einsatzmöglichkeiten erheblich.(Bild:  frei lizenziert /  Pixabay)
Neue Entwicklungen bei den MEMS-Sensoren erweitern ihre Einsatzmöglichkeiten erheblich.
(Bild: frei lizenziert / Pixabay)

Echtzeitüberwachung, vorausschauende Wartung und autonome Prozesse steigern die Effizienz und reduzieren Ausfallzeiten. Eine zentrale Rolle spielen dabei moderne MEMS-Sensoren, die klein, energieeffizient und hochpräzise sind. Die Abkürzung MEMS steht für Micro-Electro-Mechanical Systems.

Beyond Resonant Frequency Sensing für genauere Messungen

MEMS-Sensoren kombinieren mechanische und elektronische Komponenten auf mikroskopischer Ebene und wandeln physikalische Einflüsse in elektrische Signale um. Sie messen unter anderem Beschleunigung, Druck, Temperatur, Magnetfelder oder Vibrationen. Neue Generationen von MEMS-Sensoren bieten eine höhere Bandbreite, eine verbesserte Empfindlichkeit und einen geringeren Energieverbrauch.