Prozessdruck

Befüllanlage für feine Membrane und kleine Drucksensoren

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Befüllanlage mit zwei Drehschieber-Vakuumpumpen ausgerüstet

Die gesamte Befüllanlage verfügt in der Standardversion über zwei unabhängig arbeitende Drehschieber-Vakuumpumpen, die jeweils über kapazitive Drucksensoren gesteuert werden. Eine Vakuumpumpe evakuiert die Vakuumkammer auf einen maximalen Enddruck von weniger als 1 × 10–3 mbar. Die andere Drehschieberpumpe setzt den Ölbehälter unter Vakuum. Dieser ist so groß ausgelegt, dass der Ölvorrat für circa eine Woche ausreicht. Eine Dosierpumpe fördert dann das Öl aus dem Vorratsbehälter zum Warenträger in der Vakuumkammer.

Die verwendeten Pumpen können ganz nach Kundenwunsch dimensioniert und angepasst werden. Die Bandbreite der verwendbaren Pumpen reicht von einstufigen Drehschieberpumpen mit einem Saugvermögen von 5 m³/h und einem Enddruck von 1 mbar bis zu Pumpständen mit Turbomolekularpumpen, die einen Enddruck kleiner 1 × 10-5 mbar erzeugen. Der Pumpentyp hängt dabei stark von den Prozessparametern ab, wie Form und Technik der Bauteile, dem Medium und der Geschwindigkeit, in der der gesamte Prozess ablaufen soll.

Weitere Einsatzfelder für die Befüllanlage möglich

Die Anlage kann jedoch nicht nur zur Befüllung von Drucksensoren eingesetzt werden. Dies ist nur ein Beispiel von vielen. Die BF-24 wird zum Befüllen von Durchflüssen und Siliziumsensoren jeder Art verwendet. Grundsätzlich kann die BF-24 überall dort eingesetzt werden, wo Bauteile mit sehr kleinen Bohrungsdurchmessern oder Kapillaren unter Produktionsbedingungen befüllt werden müssen.

Die Evakuierungsanlage ist extrem flexibel und kann dadurch jederzeit schnell an weitere Applikationen angepasst werden. Mit dieser Technik ist es möglich, immer kleinere Membranen und noch kleinere Sensoren zu bauen, deren Befüllung bisher nicht möglich war. MM

* Wolfgang Kempf ist Geschäftsführer der VA-Tec GmbH & Co KG in 97877 Wertheim

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