Robotron Datenbank-Software

Kennzahlen-Monitoring zeigt Energiesparpotenzial auf

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Verringerung des Energieverbrauchs ist feststellbar

„Innerhalb eines stufenweisen Aufbaus wurde ein Show-Case anhand von zwei Equipments definiert und aufgesetzt. Dazu wurde eine 200-mm-Sputteranlage mit zwei Tantal-Kammern und einer Kupfer-Kammer für die Waferfertigung mit einem jährlichen Energieverbrauch von 955 MWh ausgewählt“, so Heinemann. Dabei wurden außer Strom auch weitere Medienverbräuche (Gase) in die Betrachtung integriert. Zudem sollten Möglichkeiten zur Erhöhung der Systemauslastung und Verringerung des Energieverbrauchs in nicht produktiven Zeiten analysiert werden. Das EEE-KPI-Monitoring-System wurde auf Basis von Splunk Enterprise (Maschinendatenüberwachung und –analyse) sowie der Integration von Algorithmen in R (Programmiersprache für statistische Berechnungen und Grafiken) umgesetzt und besteht aus mehrstufigen Analyse-Dashboards und Kontrollfunktionen. Parallel dazu soll ein Assessment-Team aufgebaut und in die Systembedienung eingeführt werden. Für die Analyse wurden Energieverbrauchswerte als Summenwerte der Anlage mittels des Netzanalysators Janitza UMG604 gemessen, Prozessdaten aus APC-Files (Equipment-Prozess-Monitoring) sowie RTC-Buchungen (Realtime-Clock) aus dem Data-Warehouse genutzt.

Zugewinn in Richtung Verbrauchstransparenz

Die von Robotron eingeführte Lösung bietet eine Grundlage für die Flussfaktorsteuerung für die Linienbalance sowie für eine betriebskostenoptimierte Steuerung (Realtime Scheduling/Dispatching von Tools) und Arbeit auf Feldebene. „Dabei dient die passive Verbrauchsermittlung anhand von Datenkorrelationen nicht nur als Basis für Kontrollfunktionen, sondern auch für Equipment-Assessments und das Maßnahmen-Management zur Steigerung der Energieeffizienz“, fasst Heinemann das EEE-Projekt zusammen. Zudem stellt die Lösung eine erweiterte Datengrundlage für Entscheidungen zur Kostenreduktion der Medienverbräuche sowie die Datenbasis für lang- und kurzfristige Fab-Simulationen und das Anlagen-Scheduling bereit.

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Neben der Visualisierung und Alarmierung ist zur Detailanalyse des Equipment-Ingenieurs auch die Vertiefung bis auf Event- und Log-Ebene möglich. „Die EEE-App hat bislang einen echten Zugewinn in Richtung Verbrauchstransparenz anhand der Energie- und Medien-KPIs gebracht. Anlagen und Prozesskammern können mittels Kennzahlen eineindeutig verglichen werden und Mehrverbrauch wird daraus ersichtlich. Des Weiteren wird damit das Bewusstsein beim Equipment-Betreiber zum nachhaltigen Umgang mit Energie und Ressourcen geschärft“, bilanziert Gunter Welde, Supervisor Equipment Engineering der Infineon Technologies Dresden GmbH.

* Tino M. Böhler ist Journalist in Dresden; weitere Informationen: Robotron Datenbank-Software GmbH, 01189 Dresden

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