Druckluft für die Chipindustrie Druckluftversorgung für sensible Halbleiterproduktion

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Von ölfreien CSG-Schraubenkompressoren über Adsorptionstrockner bis zu Aktivkohleadsorbern – diese Lösungen sorgen für eine effiziente und stabile Chipproduktion.

Prozessstabilität sichern und die Total Cost of Ownership (TCO) nachhaltig senken – wie in vielen Branchen gehört das in der Halbleiterindustrie zu den Erfolgsfaktoren. Da die kontinuierliche Bereitstellung Klasse-0-zertifizierter Druckluft erhebliche Energiemengen bindet, schlägt sich eine effiziente Erzeugung spürbar in den laufenden Betriebskosten nieder. Das betrifft die High-End-Logikfertigung ebenso wie die Produktion von Leistungshalbleitern. Kaeser Kompressoren hat für die Chipproduktion diverse Druckluft-Lösungen im Portfolio.

Adaptiv, effizient und vernetzt

Der maschinenübergreifende Sigma Air Manager 4.0 ermögliche laut Kaeser Kompressoren ein besonders effizientes Betreiben von Druckluft- oder Gebläsestationen. Die integrierte Energiemanagementsoftware sorgt dafür, dass mehrere Kompressoren, Gebläse, Trockner oder Filter äußerst energiesparend eingesetzt werden können. Dank der Vernetzung aller Komponenten der Druckluftstation mit dem Sigma Air Manager 4.0 über das sichere Kaeser Sigma Network sind sowohl ein umfassendes Monitoring und Energiemanagement als auch vorausschauende Wartungsmaßnahmen möglich. Damit lassen sich Ausfallzeiten minimieren und die Produktionsleistung maximieren.

Druckluft für sensible Anforderungen der Halbleiterindustrie

Die ölfrei verdichtenden Schraubenkompressoren der Serie CSG wurden speziell entwickelt für die sensiblen Anforderungen der Halbleiterindustrie. Der Kompressor liefert Druckluft der Restölklasse 0 nach ISO 8573-1 – für höchste Produktsicherheit bei der Wafer-Fertigung, in der Lithografie sowie beim pneumatischen Handling im Reinraum. Dank IE5-Synchron-Reluktanzmotoren und Sigma Profil arbeiten die CSG-Kompressoren besonders energiesparend, so der Hersteller. Die wassergekühlte Option mit i.HOC und Wärmerückgewinnung nutzt die Abwärme doppelt.

Flexibles Anlagenkonzept

Die warmregenerierenden Adsorptionstrockner der Serie Calosec verfügen über ein flexibles Anlagenkonzept, das für jede Anforderung die wirtschaftlichste Lösung bieten soll. Sie sind laut Kaeser Kompressoren der ideale Systembaustein für Druckluftnetze, die extrem niedrige Drucktaupunkte erfordern – standardmäßig bis −40 °C, optional sogar bis −70 °C (Klasse 1 nach ISO 8573-1). Für maximale Betriebssicherheit sorgt die intelligente Steuerung Calosec Control mit einem lückenlosen Systemmonitoring. Damit lassen sich auch in besonders sensiblen Branchen wie der Halbleiterindustrie zuverlässige und besonders energiesparende Gesamtlösungen realisieren.

Reine und trockene Druckluft

Die erforderlich hohe Qualität in der Halbleiterindustrie beginnt mit reiner und trockener Druckluft. Die kaltregenerierenden Adsorptionstrockner der Serie i.DC sichern laut Unternehmensangaben stabile Drucktaupunkte – standardmäßig bis −40 °C, optional sogar bis −70 °C (Klasse 1 nach ISO 8573-1) und schützen empfindliche Wafer-Oberflächen sowie hochpräzise Optiken zuverlässig vor Feuchtigkeitsschäden. Perfekt abgestimmt auf Kompressoren von Kaeser, gewährleiste der i.DC hohe Prozesssicherheit und verlässliche Energieeffizienz – für fehlerfreie Abläufe in der Lithografie, beim Ätzen und beim pneumatischen Wafer-Handling.

Ölfreie Druckluft

Aktivkohleadsorber der Serie ACT sind Spezialisten für kontinuierlich technisch ölfreie Druckluft. Nach Trocknung und Vorfiltration eingesetzt, halten sie laut Kaeser Kompressoren die strengen Anforderungen der Klasse 1 nach ISO 8573-1 (Restölgehalt: ≤ 0,01 mg/m³) zuverlässig ein. Das schütze hochempfindliche Wafer-Oberflächen, Lithografie-Optiken und Reinraumumgebungen zuverlässig vor Öldampf-Kontaminationen. Großzügige Füllmengen hochwertiger Aktivkohle und ein dauerhaft niedriger Differenzdruck sollen die Betriebskosten (TCO) senken. Die Standzeit der Aktivkohle erreiche bis zu 12.000 Kompressor-Betriebsstunden, während ein serienmäßiger Ölindikator eventuelle Betriebsstörungen frühzeitig signalisiert.

Auf der Semicon Europa zeigte Kaeser Kompressoren seine praxisnahen Lösungen für die Chipproduktion.

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