Horiba Halbleiterausrüstung wird auch anders nutzbar

Autor / Redakteur: Stéphane Itasse / Stéphane Itasse

Von der Ausrüstung für die Halbleiterherstellung in andere Bereiche: Horiba will die Produkte seiner Semiconductor-Sparte für andere Branchen anwendbar machen. Im Fokus der Japaner steht auch die Oberflächentechnik.

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Seine Produkte wie dieses Quadrupol-Massenspektrometer möchte der japanische Hersteller Horiba auch anderen Branchen als der Halbleiterherstellung anbieten.
Seine Produkte wie dieses Quadrupol-Massenspektrometer möchte der japanische Hersteller Horiba auch anderen Branchen als der Halbleiterherstellung anbieten.
(Bild: Horiba)

Dabei bietet das Semiconductor-Segment Produkte sowohl für Gasabscheidungs- als auch für Plasma- oder Nassbeschichtungsverfahren an. „Wir können die Kammer zur Bedampfung als Gesamtsystem anbieten, das ist unsere Stärke im Vergleich zum Wettbewerb“, erläuterte Takeshi Kondo, Manager Technical Sales und Marketing bei Horiba in Großbritannien, im Gespräch mit MM MaschinenMarkt. Das Unternehmen hat sich damit insbesondere bei den Halbleiterherstellern eine starke Marktstellung erarbeitet und kommt zum Beispiel mit seinen Gasdurchflussreglern nach Kondos Worten auf einen Weltmarktanteil von 55 %. Die Geräte der Serie SEC-N100 bieten dabei die Möglichkeit, die Art des Gases unkompliziert zu wechseln und eine hohe Genauigkeit von ± 1 %. Aus der Serie SEC-8000 eignen sich je nach Typ die Durchflussregler sogar für Anwendungen mit Temperaturen bis 120 °C. Mit den Daten in ihrer Softwarebibliothek sind die Geräte für mehr als 300 verschiedene Gase geeignet, wie Kondo sagte.

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Auch für die Vakuummesstechnik hat Horiba bereits mehrere Geräte auf dem Markt. Dazu gehören die Membran-Vakuummeter der neuen VG-200-Serie und Quadrupol-Massenspektrometer des Typs RGA. Nach Auskunft von Kondo zeichneten sie sich mit Abmessungen von 50 mm × 50 mm durch eine besonders kleine Bauweise aus, was den Anlagenkonstrukteuren die Arbeit erleichtere, ohne jedoch an Messgenauigkeit einzubüßen. Auch die Quadrupol-Massenspektrometer haben bei Horiba einen deutlich kleineren Bauraum als bei der Konkurrenz, außerdem lässt sich ihr Sensor einfach austauschen, ohne dass der Anwender ihn selbst kalibrieren muss.

Instrumente aus der Halbleiterindustrie für andere Branchen anpassen

Bei den Plasmaemissionsreglern bietet der japanische Hersteller mit seinen Geräten vom Typ RU-1000 die Möglichkeit, die Abscheiderate beim Sputtern zu erhöhen bei einer gleichzeitig äußerst gleichmäßigen Schichtdicke. Mit seinem Know-how und seiner Angebotspalette kann das Unternehmen zudem ein Gesamtsystem für das Verfahren zusammenstellen.

Auch für nasschemische Verfahren kann Horiba eine ganze Reihe von Geräten anbieten. Im Programm sind mehrere Aggregate, welche die Konzentration von Säuren oder Laugen mit den gängigen Verfahren – Leitfähigkeit, Spektralabsorption, pH-Wert und elektrochemische Messung – detektieren. „Viele dieser Instrumente sind auch außerhalb der Halbleiterindustrie einsetzbar. Die Messprinzipien können weiter genutzt werden, nur die Geräte müsste man anpassen“, erläuterte Ulrich Gölitzer, Regional Manager Semiconductor bei Horiba Europe in Oberursel.

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