Laser-Arc-Modul mit Kohlenstoffkathode (Graphit) zur Abscheidung extrem harter DLC-Schichten. Die zeitliche und örtliche Steuerung der Bogenentladung wird mit einem konventionellen Pulslaser erreicht.Bild: Fraunhofer IWS. (Archiv: Vogel Business Media)
Verschleissschutz

Extrem harte Kohlenstoffschichten unter Fertigungsbedingungen abscheidbar

Extrem harte Kohlenstoffschichten lassen sich im PVD-Verfahren abscheiden, nach dem Laser-Arc-Prinzip, wobei für die Steuerung der Bogenentladung auf der Kathodenoberfläche ein Pulslaser ausreichend ist. Dieser Laser ist nicht nur kostengünstig, es wird auch ein sehr homogener Abtrag und damit eine hohe Ausnutzung des Kathodenwerkstoffs erreicht. So erzielt man lange Standzeiten, die das Abscheiden der wasserstofffreien DLC-Schichten für Serien wirtschaftlich macht.

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