Excelitas Technologies Mikroskopsystem Mag.x. 125 von Qioptiq hat großes Sichtfeld

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Das System Mag.x 125 ist ein hochauflösendes Mikroskop-System mit großem Bildfeld.
Das System Mag.x 125 ist ein hochauflösendes Mikroskop-System mit großem Bildfeld.
(Bild: Qioptiq)

Messtechnik– rs. Das System Mag.x. 125 von Qioptiq, einem Tochterunternehmen von Excelitas Technologies, ist ein für hochauflösende Bildsensoren bis 57 mm Diagonale entworfenes Mikroskopsystem mit besonders großem Sichtfeld. Es soll erstmals die Kombination von Mikroskopietechniken mit hochauflösenden großen Sensoren in der industriellen Inspektion ermöglichen. Wegen der hohen numerischen Apertur seiner Objektive und einer guten Korrektur über das gesamte Bildfeld erreicht das Mikroskop eine optische Leistungsfähigkeit, die Inspektionen von Strukturen bis in den Submikrometerbereich mit hohem Durchsatz ermöglicht. Es eigne sich außerdem für optische Messtechnikanwendungen, die Auflösungen im Mikrobereich erfordern. Das modulare System ist variabel und kann in Inspektionsaufgaben, etwa für die Prüfung der Fertigungsqualität von Displays und Halbleiterprodukten eingesetzt werden. Mögliche Konfigurationen reichen von rein optischen Systemen ohne Beleuchtung bis hin zu Ausführungen mit koaxialer Beleuchtung und integriertem Autofokus.

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