Mikrostrukturen

Der Laser schafft Freiheit bei der Fertigung optischer Glaskomponenten

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Würzburger Forscher schaffen Probleme aus der Welt

Vom Fraunhofer-ISC aus Würzburg kommt dabei eine wesentliche Kompetenz für die Prozessführung. Sie betrifft das Entfernen der abgetragenen Reststoffe aus den Bohrlöchern. Um das zu schaffen, werden zusammen mit den Projektpartnern die Laserparameter optimiert sowie physikalische oder chemische Methoden zur Prozessoptimierung entwickelt. Das Ziel ist es, die Strukturen mit maßgeschneiderten dispersiven Eigenschaften in über 200 Millimeter langen Faservorformen einzubringen.

Der Fokus liegt auf der Optimierung von Lasermikroresonatoren

Ein anderes Verfahren für die Mikromaterialbearbeitung ist das selektive laserinduzierte Ätzen, heißt es weiter. Dabei wird ein transparenter Werkstoff mithilfe von fokussierter ultrakurz gepulster Laserstrahlung im Volumen und an den Oberflächen strukturiert, was auch noch rissfrei geht. Dadurch würden die chemischen Eigenschaften so verändert, dass er selektiv ätzbar werde. Durch die Auslenkung des Fokus im Werkstück können auch zusammenhängende Bereiche modifiziert werden, die im zweiten Prozessschritt durch nasschemisches Ätzen entfernt werden können. Der Prozess ist zwar zweigeteilt, ermöglicht aber eine ebenso eine hohe Geometriefreiheit, betonen die Beteiligten.

Ein vielversprechendes Verfahren für neue Mikrostrukturen in Glas ist das selektive laserinduzierte Ätzen, womit etwa Mikroresonatoren aus Glas entstehen können, die zum Beispiel für Frequenzkammgeneratoren nutzbar sind. Das Laserverfahren ermöglicht dabei neue Geometrien, heißt es.
Ein vielversprechendes Verfahren für neue Mikrostrukturen in Glas ist das selektive laserinduzierte Ätzen, womit etwa Mikroresonatoren aus Glas entstehen können, die zum Beispiel für Frequenzkammgeneratoren nutzbar sind. Das Laserverfahren ermöglicht dabei neue Geometrien, heißt es.
(Bild: MPL)

Die Projektpartner wollen das Verfahren, wie es weiter heißt, vor allem für neue Geometrien in der Herstellung von Lasermikroresonatoren optimieren. Solche Submillimeterstrukturen ließen sich beispielsweise in der Telekommunikation und der Quantentechnologie anwenden. Als Koppler, Konverter oder Sensoren ermöglichen sie nämlich die weitere Miniaturisierung und Integration optischer Komponenten.

Das Projekt „LAR3S – Lasergenerierte dreidimensionale photonische Komponenten - Resonante und Antiresonante Bauelemente zur Formung und Führung von Licht“ hat im Übrigen eine Laufzeit von drei Jahren und wird im Rahmen des Fraunhofer-Max-Planck-Kooperationsprogramms gefördert.

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