Für funktionelle Beschichtungen auf industriell hergestellten Bauteilen gelten, besonders bei Hightechprodukten, hohe Qualitätsanforderungen, was Elementverteilung, Dicke und Vollständigkeit der mitunter nanometerdünnen Beschichtungen angeht. Ein neues optisches Messsystem erfasst diese Parameter erstmals in der Fertigungslinie und wertet sie aus.
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